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藍寶石有氧退火爐

日期:2019/7/26 12:50:36

 

    蓝宝石 (Sapphire) 是一種氧化鋁 ( α- Al2O3) 的單晶,又稱爲剛玉。 藍寶石晶體具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性,強度高、硬度大、耐沖刷,可在接近 2000 高溫的惡劣條件下工作,因而被廣泛的應用于紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料。其獨特的晶格結構、優異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成爲實際應用的半導體 GaN/Al2O3 發光二極管 (LED) ,大規模集成電路 SOI SOS 及超導納米結構薄膜等最爲理想的襯底材料。

在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、抛光過程中,盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放,但是這種應力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應力會在晶片表面集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在後道加工過程産生破片,影響整個加工循環的晶片質量。

        藍寶石襯底在加工過程中,必須經過退火處理以降低加工應力。

有氧退火爐

 

 

 

特點

藍寶石晶棒退火(有氧退火)

  • 去應力:使藍寶石便于加工,切屑。
  • 消除應力集中,避免晶體自動開裂,以及加工中産生裂紋、爆口等。
  • 退火溫度以達到其熔點附近最佳,升溫速率不宜過快,直徑越大,保溫時間應越長;降溫時間應大于升溫時間,避免再次産生應力。                                                              

去色心:使藍寶石更透明,透光更好。

技術參數  

典型應用

  • 藍寶石晶體退火
     

 

 

 

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