您現在的位置:應用案例 >> 半導體領域 >> 氧化擴散爐

氧化擴散爐

日期:2019/5/6 13:07:37

公司一直專注于半導體材料、碳材料、複合材料和锂電材料四大領域,積累了豐富的久草在线资源經驗和技術,竭誠服務于客戶,提供完善的一體式産業解決方案。

在半導體材料領域,皓越科技致力爲客戶提供晶體生長設備和高溫退火設備,適用于藍寶石、碳化矽、氮化镓和氮化鋁晶體的生長和退火。還推出氧化/擴散爐、LPCVD/PECVD等薄膜生長摻雜設備以及晶圓快速熱處理RTP設備。

在碳材料領域,皓越科技拥有提供石墨烯、碳纳.米管的CVD及PECVD成套生长系统,并提供金刚石工具久草在线资源用真空爐和热压炉,以及碳材料用高温石墨化炉等。

在锂电材料领域,我们为客户提供连续正极材料久草在线资源窑炉,有辊道窑、推板窑等,以及用于负极材料久草在线资源用真空爐等。

在陶瓷基複合材料領域,擁有碳化矽陶瓷的無壓燒結、反應燒結和重結晶燒結設備,氮化矽粉體合成爐以及陶瓷制品燒結爐,碳化硼陶瓷熱壓燒結爐等。

QQ在線客服
  • 客服在線
聯系方式

021-5109 5287